牛津仪器BEX成像技术荣获英国物理学会商业创新奖

更新时间：2026-07-21

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牛津仪器BEX成像技术荣获英国物理学会商业创新奖，以18倍分析效率提升赋能扫描电镜分析

牛津仪器（Oxford Instruments）凭借其突破性的BEX（Backscattered Electron and X-ray）成像分析技术，荣获英国物理学会（Institute of Physics）颁发的商业创新奖（Business Innovation Award）。该技术实现了扫描电子显微镜（SEM）中背散射电子成像与全元素X射线成像的同步采集，将传统SEM-EDS分析效率提升了至少一个数量级。

BEX技术：同步成像的革命性突破

BEX技术的核心创新在于将SEM中的背散射电子成像与X射线能谱分析（EDS）同步整合。在传统SEM-EDS分析中，操作人员需要先采集背散射电子图像获取形貌和衬度信息，再切换至EDS模式进行元素分析——两个步骤分别进行，耗时较长且难以保证同一区域的数据对应。

BEX探测器实现了两种信号的同步采集：在一次扫描中同时获得背散射电子图像和全元素X射线分布图。根据发表在Scientific Reports上的研究（2025, 15:44361），利用牛津仪器Unity BEX探测器对微塑料进行系统研究时，相比传统SEM-EDS方法，分析提升约18倍，并能够准确识别低至5μm²的颗粒。

从环境科学到半导体分析的广泛应用

BEX技术的应用场景覆盖了从环境科学到半导体分析的广泛领域。在环境科学中，BEX已被用于微塑料等污染物的快速识别与表征。在半导体领域，该技术可用于先进封装、材料分析等场景的高通量检测。在矿物解离分析中，配合牛津仪器的INCAMineral等自动化矿物分析工具，可对矿石进行快速表征并提供金属回收的关键数据。

英国物理学会商业创新奖旨在表彰将物理研究成果成功转化为商业应用的企业。牛津仪器此次获奖，标志着BEX技术在技术创新与商业价值两个维度均获得了行业认可。

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​牛津仪器BEX成像技术荣获英国物理学会商业创新奖

牛津仪器BEX成像技术荣获英国物理学会商业创新奖，以18倍分析效率提升赋能扫描电镜分析

牛津仪器BEX成像技术荣获英国物理学会商业创新奖