现货！牛津仪器与AOI达成等离子体设备供应协议上市

更新时间：2026-07-21

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现货！牛津仪器与AOI达成等离子体设备供应协议，赋能下一代磷化铟光电子器件制造

先进等离子体加工解决方案提供商牛津仪器（Oxford Instruments）宣布与美国应用光电子公司（Applied Optoelectronics Inc., AOI，纳斯达克代码：AAOI）达成等离子体设备供应协议。根据协议，牛津仪器将向AOI位于德克萨斯州舒格兰（Sugar Land）的工厂供应多套刻蚀与沉积集群系统，用于支持AOI在磷化铟（InP）光电子器件制造领域的技术升级与产能扩张。

支持AI数据中心光收发器产能扩张

AOI正处于显著的增长阶段，正在升级其生产能力，以满足AI数据中心对高性能InP光电子器件日益增长的需求。牛津仪器的先进等离子体刻蚀与沉积加工系统将发挥关键作用，为AOI提供全自动化的3-4-6英寸兼容生产系统，支持InP工艺的大规模制造。

AOI北美高级副总裁兼总经理Fred Chang表示：“AOI正在扩大其在德克萨斯州的美国制造能力，以支持AI数据中心对光收发器的需求。像牛津仪器这样的关键供应商将帮助我们持续升级全自动化生产线。通过双方技术的结合，我们能够加快3至6英寸多种晶圆尺寸的加工速度，同时提高整体质量并降低成本。"

高温静电吸盘技术成为合作关键

牛津仪器等离子体技术美国销售与业务发展副总裁Emiel Thijssen表示：“AOI是我们长期珍视的合作伙伴，我们很荣幸被选为其生产扩张和技术升级的供应商。我们独特的高温静电吸盘（ESC）设计是实现先进加工能力的关键因素，也是AOI决策的重要因素。AOI还进行了广泛的供应商资格认证流程，包括参观我们在英国布里斯托尔新建的专用制造设施，我们的技术和生产能力获得了高度评价。"

牛津仪器还正在德克萨斯州地区加大投资，以确保提供的服务能力，重点是备件供应和扩大现场服务与工艺工程团队。

牛津仪器成立于1959年，是牛津大学技术衍生公司，现为伦敦证券交易所FTSE250指数上市公司（OXIG）。

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