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Cassification
更新时间：2026-07-21 
浏览次数：5牛津仪器（Oxford Instruments）宣布与Rigetti Computing达成一项重要设备供应协议。Rigetti Computing已采购一台PlasmaPro 100 Cobra原子层刻蚀（ALE）系统，用于量子器件的专用制造，进一步拓展其近期扩建的量子代工厂能力。
原子层刻蚀：量子器件制造的关键工艺
原子层刻蚀（ALE）是一种先进的等离子体加工技术，能够在原子层级精确控制材料去除，实现超低损伤、原子级精度的刻蚀效果。对于量子器件的制造而言，ALE技术的价值尤为突出——量子比特对工艺引入的损伤极为敏感，任何微小的晶格缺陷或界面污染都可能导致量子相干时间的显著缩短。
PlasmaPro 100 Cobra ALE系统是牛津仪器等离子体技术产品线中的核心机型之一，专为需要原子级精度控制的先进半导体和量子器件制造而设计。Rigetti Computing是一家专注于超导量子计算技术的企业，拥有从量子芯片设计到封测的全栈能力。此次采购将用于其量子代工厂的专用制造工艺。
牛津仪器在量子技术领域的持续布局
此次与Rigetti Computing的合作是牛津仪器在量子技术领域持续布局的又一进展。2026年5月，牛津仪器与纽约大学纳米加工洁净室（NYU Nanofab）达成合作，安装了一台PlasmaPro ASP原子层沉积（ALD）系统，用于超导氮化物量子材料的研发，成为美国将该技术用于超导量子应用的研究机构。同月，牛津仪器等离子体技术与纳米科学业务部门联合参与英国一个量子技术联盟，该联盟获得了英国有史以来最大的一笔政府资助，旨在推动超导量子技术的商业化。
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