日本爱发科HELIOT 711W1氦质谱检漏仪技术介绍

更新时间：2026-07-16

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日本爱发科HELIOT 711W1氦质谱检漏仪技术介绍

爱发科HELIOT 711W1氦质谱检漏仪技术介绍：磁场偏向型质谱分析原理与高精度气密性检测应用

在半导体封装、新能源电池、真空装置制造及食品医药包装等对气密性有严格要求的领域介绍，微小泄漏的精准检测直接关系到产品可靠性与安全性。爱发科（ULVAC）HELIOT 711W1氦质谱检漏仪依托磁场90度偏向型质谱分析原理与自由选择流量方式排气系统，以高灵敏度、快速启动、智能操控等特性，成为各类真空设备泄漏检测及产品气密性检测的可靠工具。

一、工作原理：磁场偏向型质谱分析与氦气示踪

HELIOT 711W1的核心工作原理建立在质谱分析（Mass Spectrometry）与氦气示踪两大技术之上。氦气因其独特的物理性质被选为理想示踪气体——原子半径仅约31pm，可穿透其他气体无法通过的超细微漏孔；化学惰性，不可燃、不反应，对设备和操作人员安全；在大气中含量仅约5ppm，背景噪音极低，可保证测量精度。

设备的工作过程包含三个核心步骤：

电离：进入质谱分析管的气体分子被灯丝加热，经电子轰击形成正离子（He⁺）
磁场偏转分离：离子在固定磁场中加速运动，根据洛伦兹力原理，不同质荷比的离子偏转轨迹半径不同。只有质荷比为4的氦离子以特定半径通过窄缝到达离子收集极
定量检测：收集极捕获到极其微小的离子电流（约10⁻¹⁵A量级），经放大后转换为泄漏率数值显示在屏幕上

HELIOT 711W1安装的专用排气系统采用了自由选择流量方式，可在保持高灵敏度的同时灵活适配不同检测需求。

二、核心技术特点

1. 高灵敏度检测，覆盖宽泄漏范围

HELIOT 711W1的最小可检泄漏率在超微漏设定模式下可达0.1×10⁻¹²Pa·m³/sec。这一灵敏度水平可检测到极微小的漏孔，适用于半导体封装、真空装置等对气密性要求严苛的场景。设备支持6种测试模式的自由切换：

测试模式	适用场景
自动模式	常规检漏操作
微漏模式	微小泄漏检测
中漏模式	中等泄漏检测
大漏模式	较大泄漏快速筛查
超微漏模式	灵敏度要求场景
吸枪模式	正压法检漏（需选购部件）

2. 快速启动，缩短等待时间

HELIOT 711W1的启动时间在无效正（快速起动）设定下仅需3分钟。相比传统检漏仪较长的预热和准备周期，这一快速启动能力使设备可在需要时迅速投入使用，减少了等待时间，提升了检测效率。停止时间同样为3分钟。

3. 智能校正与自动调零

设备在启动时执行自动校正，配备的校正漏孔具有温度补正和年补正功能。此外还搭载了灵敏度检查功能，可对灵敏度数值进行管理。即使在启动结束后，也可进行灵敏度再校正。对于测试系统容积较大的情况，建议使用1.0×10⁻⁷Pa·m³/s以上的面型校正漏孔进行手动或自动灵敏度校正。

自动调零功能可开关控制，通过自动调零操作自动执行并补正零点偏移。

4. 智能操控与多语言界面

HELIOT 711W1配备彩色触摸屏，操作方法及故障显示均通过文字和图像呈现。泄漏率显示支持包括线性显示、指针显示在内的4种测试画面的自由切换。

设备支持6种语言选择：日语、英语、韩语、简体中文、繁体中文、德语。

5. 丰富的输入输出接口

设备配备约20个输入输出信号点：

设定点（泄漏率接点）输出3个
泄漏率输出
打印机输出
测试开始/结束信号输入
主机起动/停止信号输入
RS-232C输入输出

外部阀方面，对设在外部的外部校正漏孔的阀输出（24V）也可进行自动控制。

6. 阀操作全自动控制

HELIOT 711W1的内置阀采用全自动控制。外部阀同样支持自动控制，有关其他内容的程序控制可根据需要定制软件。

7. 紧凑设计与便携性

设备外形尺寸为480（W）×335（D）×505（H）mm，重量约43kg。在同类检漏仪中属于紧凑设计，便于在不同检测工位间移动部署。

三、性能参数一览

参数	规格
分析管类型	磁场90度偏向型质量分析管
最小可检漏率	0.1×10⁻¹²Pa·m³/sec（超微漏设定）
主泵	复合分子泵 25L/sec
前级泵	油回转真空泵 30L/min
真空计	皮拉尼真空计 WP-01+GP-H
测试口	NW25
启动时间	3分钟（快速起动设定）
停止时间	3分钟
使用温度范围	10～40℃
测试模式	6种（自动/微漏/中漏/大漏/超微漏/吸枪）
语言支持	6种
显示画面	4种（含线性、指针显示）
外形尺寸	480×335×505 mm
重量	约43kg
电源	AC220V 6A/3A

数据来源：爱发科产品规格表

四、典型应用场景

半导体与电子制造：用于半导体封装的气密性检测，确保芯片封装后的密封可靠性；用于电子元器件、连接器的泄漏检测。

真空装置制造：用于各类真空设备的泄漏检测，在设备出厂前验证其气密性。

新能源电池：用于二次电池（锂电池等）的漏液测试，检测电池壳体密封性，防止电解液泄漏。

制冷与空调：用于空调、冰箱等制冷系统的泄漏检测。

食品与医药包装：用于食品、药品包装的密闭性检查，有效防止外界空气和微生物侵入。

科研与实验：用于科研实验中的真空系统泄漏检测。

五、总结

HELIOT 711W1是爱发科在氦质谱检漏领域的一款代表性产品。通过磁场90度偏向型质谱分析原理与自由选择流量方式排气系统的配合，在实现0.1×10⁻¹²Pa·m³/sec最小可检泄漏率的同时，将启动时间缩短至3分钟。其6种测试模式、自动校正与调零、彩色触摸屏操控、多语言支持及丰富接口等特性，使其成为半导体封装、新能源电池、真空装置制造及食品医药包装等对气密性有严格要求的场景中可靠的检测工具。

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