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Cassification
技术文章/ Technical Articles
日本爱发科HR60高温区域均热化干式真空泵技术介绍日本爱发科HR60高温区域均热化干式真空泵技术介绍爱发科HR60高温区域均热化干式真空泵技术介绍：多级罗茨无油压缩原理与半导体CVD工艺应用在半导体CVD（化学气相沉积）、干法刻蚀等高温工艺场景中介绍，工艺气体常含有氯化物、氟化物等腐蚀性成分及升华性副产物。这类物质在低温环境下容易冷凝沉积，导致泵内部件腐蚀、转子卡滞甚至停机。爱发科（ULVAC）HR系列高温区域均热化干式真空泵针对这一痛点开发，其中HR60作为该系列的入门型号...
日本爱发科LS120A螺杆型干式真空泵技术介绍日本爱发科LS120A螺杆型干式真空泵技术介绍日本爱发科LS120A螺杆型干式真空泵技术介绍：双螺杆无油压缩原理与绿色洁净真空应用在半导体制造、光伏镀膜、平板显示及精密科研等制造领域介绍，洁净无油的真空环境是保障产品良率与工艺稳定性的核心前提。爱发科（ULVAC）LS系列螺杆型干式真空泵作为兼顾高速排气与低功耗的产品，依托双螺杆无油容积式压缩技术，以高抽速、低能耗、无油洁净、静音运行四大核心优势，成为面向洁净工艺与轻工艺多元场景的...
日本爱发科ULVACPRC-003A密闭式电机罗茨泵技术介绍日本爱发科ULVACPRC-003A密闭式电机罗茨泵技术介绍日本爱发科ULVACPRC-003A密闭式电机罗茨泵技术介绍：无油容积式压缩原理与半导体洁净真空应用在半导体制造、液晶面板生产及精密镀膜等对洁净度要求高的工艺场景中，真空系统的油污染问题直接关系到产品良率。传统的机械增压泵（罗茨泵）通过轴封与电机连接，长期使用后密封件磨损会导致润滑油泄漏，污染真空环境。爱发科（ULVAC）PRC系列密闭式电机罗茨泵针对这一行...
日本爱发科HELIOT711W1氦质谱检漏仪技术介绍日本爱发科HELIOT711W1氦质谱检漏仪技术介绍爱发科HELIOT711W1氦质谱检漏仪技术介绍：磁场偏向型质谱分析原理与高精度气密性检测应用在半导体封装、新能源电池、真空装置制造及食品医药包装等对气密性有严格要求的领域介绍，微小泄漏的精准检测直接关系到产品可靠性与安全性。爱发科（ULVAC）HELIOT711W1氦质谱检漏仪依托磁场90度偏向型质谱分析原理与自由选择流量方式排气系统，以高灵敏度、快速启动、智能操控等特性...
日本爱发科MS120A螺杆型干式真空泵技术介绍日本爱发科MS120A螺杆型干式真空泵技术介绍爱发科MS120A螺杆型干式真空泵技术介绍：双螺杆无油压缩原理与耐腐蚀工艺应用在半导体刻蚀、光伏镀膜、平板显示及化学工业等涉及腐蚀性气体和粉尘排出的工艺场景中介绍，真空泵不仅需要提供洁净无油的真空环境，还需具备耐受化学侵蚀和颗粒物冲击的能力。爱发科（ULVAC）MS120A螺杆型干式真空泵作为MS系列的代表型号，在LS系列的基础上针对耐腐蚀性和粉末排出性能进行了专项提升，依托双螺杆无油...
日本爱发科ULVACHR90多级罗茨型干式真空泵技术介绍日本爱发科ULVACHR90多级罗茨型干式真空泵技术介绍爱发科HR90多级罗茨型干式真空泵技术介绍：高温区域均热化原理与半导体CVD/刻蚀工艺应用在半导体CVD（化学气相沉积）、干法刻蚀及灰化（Ashing）等工艺中，反应气体常含有氯化物、氟化物等腐蚀性成分，工艺过程中还会生成大量升华性副产物。这些副产物在低温环境下容易冷凝沉积，附着于泵腔内壁和转子表面，导致部件腐蚀、转子卡滞乃至设备停机。爱发科（ULVAC）HR系列高...
日本爱发科ULVACDA-121D大气压式干式真空泵技术介绍日本爱发科ULVACDA-121D大气压式干式真空泵技术介绍日本爱发科ULVACDA-121D大气压式干式真空泵技术介绍：摆动活塞无油压缩原理与工业真空应用在真空吸盘、自动包装设备、医疗器械及半导体检测等工业场景中，对真空泵的要求往往不是极限高真空，而是在大气压附近持续稳定地提供负压，同时要求设备无油、耐用、易维护。爱发科（ULVAC）DA-121D大气压式干式真空泵正是针对这一需求而开发的产品。作为摆动活塞型干式真...
爱发科VD系列油旋片真空泵技术介绍：单级大抽速压缩原理与工业批量真空应用在真空镀膜、真空热处理、真空包装及大规模工业产线等对抽速有较高要求的应用场景中介绍，高效可靠的中低真空获得能力是保障生产节拍与工艺一致性的核心前提。爱发科（ULVAC）VD系列油旋片式真空泵作为D系列和EC系列的全面升级换代产品，依托单级大抽速离心压缩技术，以高排气速度、极限真空稳定、空冷散热与易维护设计四大核心优势，成为面向批量生产型工业真空应用场景中兼具效率与可靠性的优选方案。一、工作原理：单级大容积...
爱发科GLD-137AA高功能规格油旋片真空泵技术介绍：双级逐级压缩原理与工业级高真空应用在半导体制造、真空镀膜、热处理及科研实验等工业应用场景中，稳定可靠的高真空获得能力直接决定着工艺质量与生产效率。爱发科（ULVAC）GLD-137AA高功能规格油旋片式真空泵作为GLD系列中的高性能代表型号，依托双级排气逐级压缩技术，以高极限真空度、强制供油润滑、防逆流保护三大核心功能模块，成为面向高真空要求的工业与科研应用场景中兼具性能与可靠性的理想真空源。一、工作原理：双级逐级压缩的...
爱发科GLD-N051双级油旋片真空泵技术介绍：离心密封压缩原理与实验室精密真空应用在化工分析、科研实验、激光设备及电子显微镜等精密仪器领域介绍，稳定可靠的真空环境是保障实验数据准确性与设备正常运行的基础前提。爱发科（ULVAC）GLD-N051双级直联油旋片式真空泵作为GLD-N系列的入门级型号，依托双级离心密封压缩技术，以高真空度、低噪低振、经久耐用三大核心优势，成为中小型实验室与精密仪器配套的理想真空源。一、工作原理：双级离心密封压缩的精密配合GLD-N051的核心工作...
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