日本爱发科ULVAC正式发布MS1200A螺杆式干式真空泵上新

更新时间：2026-07-18

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日本爱发科ULVAC正式发布MS1200A螺杆式干式真空泵上新

日本爱发科ULVAC正式发布MS1200A螺杆式干式真空泵上新，以高耐腐蚀与大抽速技术赋能半导体与工业制造领域

全球真空技术综合解决方案供应商日本爱发科（ULVAC）今日正式面向中国市场推出MS1200A螺杆式干式真空泵。作为MS系列中的大抽速代表机型，MS1200A依托双螺杆无油容积式压缩与高耐腐蚀表面处理两大核心技术，以980m³/h最大抽速、≤0.6Pa极限压力、专为腐蚀性气体和粉末排出工艺优化等综合性能，成为面向半导体蚀刻设备、灰化设备、真空热处理炉、锂电池制造设备等涉及腐蚀性气体和粉尘排出的严苛工艺场景的可靠选择。该产品目前深圳仓库有现货供应，可满足客户的快速交付需求。

高耐腐蚀设计，专为严苛工艺优化

MS1200A在传统LS型螺杆干泵基础上进行了针对性改进，转子轴和气缸等主要部件经过特殊表面处理，实现了高耐腐蚀性。同时，爱发科独特的螺旋式转子轴设计实现了高粉末排出性能。该真空泵专为涉及腐蚀性气体和粉末排出的真空工艺而设计，可有效应对半导体蚀刻、灰化等工艺中氟化物、氯化物等腐蚀性气体对泵体的化学侵蚀。

强劲抽速与稳定的极限压力

MS1200A的最大抽速达980m³/h。极限压力为≤0.6Pa。从大气压到极限压力，整个压力范围内均可连续运行。这一性能指标使其可快速建立大容积腔体的真空环境，适配批量生产型工业产线的节拍要求。

低功耗与低噪音运行

MS1200A在极限压力下的功耗约为3.1kW。运行噪音为64dB(A) 。无需轴封气体，降低了辅助气体的消耗。冷却水量需大于4.0L/min。

宽电压适配与标准认证

MS1200A搭载多电压电机，支持三相50/60Hz，AC200-240V±10%或AC380-480V±10% 两种电源规格。产品已通过CE、cTUVus国际标准认证。主机选项包括200V或400V级电源电压、氟橡胶（FKM）或全氟橡胶（FFKM）密封材料等。外部选项包括外壳排气口、抗震固定支架、吹扫气阀等。

标准配件与接口规格

MS1200A标准配件包括快速使用手册、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器保护罩、专用消音器套装。吸气口采用ISO-F-100标准接口。排气口为KF40。整机重量264kg。

产品系列对比

MS系列提供多型号选择：

型号	最大抽速（m³/h）	极限压力（Pa）	功耗（kW）	噪音（dB(A)）	重量（kg）
MS120A	115	≤0.6	2.4	61	139
MS600A	560	≤0.1	3.1	62	241
MS1200A	980	≤0.6	3.1	64	264

数据来源：爱发科产品规格表

多元应用场景

MS1200A广泛应用于半导体与工业制造领域：在半导体蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备的真空排气系统中应对腐蚀性气体；在真空热处理炉、烧结炉、渗碳炉等热处理设备中提供稳定真空；在锂电池制造设备、电极干燥设备、脱气设备、液体喷射设备的真空系统中发挥作用；在医疗和食品相关设备的真空排气冷冻干燥、真空干燥等工艺中配套使用。

现货供应，快速交付

MS1200A目前深圳仓库有现货供应，可满足客户的快速交付需求。有采购意向的客户可联系授权经销商确认具体库存数量与交付周期。

购买渠道：本产品由深圳市京都玉崎电子有限公司负责中国区销售与技术支持。公司地址位于深圳市龙华新区梅龙大道906号创业楼。客户可通过化工仪器网商铺或直接联系销售团队进行产品咨询与订购。深圳京都玉崎凭借供应链体系和专业技术服务团队，为客户提供从选型咨询、现货供应到售后支持的一站式采购体验。

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