日本爱发科LS120A螺杆型干式真空泵技术介绍

更新时间：2026-07-17

浏览次数：20

日本爱发科LS120A螺杆型干式真空泵技术介绍

日本爱发科LS120A螺杆型干式真空泵技术介绍：双螺杆无油压缩原理与绿色洁净真空应用

在半导体制造、光伏镀膜、平板显示及精密科研等制造领域介绍，洁净无油的真空环境是保障产品良率与工艺稳定性的核心前提。爱发科（ULVAC）LS系列螺杆型干式真空泵作为兼顾高速排气与低功耗的产品，依托双螺杆无油容积式压缩技术，以高抽速、低能耗、无油洁净、静音运行四大核心优势，成为面向洁净工艺与轻工艺多元场景的理想真空源。其中LS120A作为该系列的入门级型号，以优异的综合性能成为中小型真空系统的优选方案。

一、工作原理：双螺杆非接触式容积压缩

LS120A的核心工作原理建立在双螺杆非接触式容积压缩这一物理机制之上。它本质上是一种干式容积真空泵——通过两根平行啮合的螺杆转子同步反向旋转，周期性地改变转子与泵壳之间形成的封闭腔体容积，实现气体的吸入、压缩与排出。

泵的核心运动部件由两根精密加工的双螺杆转子组成：

非接触式运转：两根螺杆转子在同步齿轮的驱动下以相反方向高速旋转，转子之间以及转子与泵壳之间始终保持微米级的微小间隙，无需任何润滑油作为密封介质。这一设计从根本上杜绝了油蒸气的产生与返流。
容积式压缩：随着转子旋转，气体由进气口被吸入后，在螺杆螺旋槽与泵壳之间形成的封闭腔体中沿轴向连续传递。腔体容积沿输送方向逐渐缩小，气体被逐级压缩，最终从排气口排出。LS120A的最大抽速可达120m³/h，极限压力可达≤0.6Pa。
无油密封与冷却：轴承和齿轮等旋转部件的润滑油通过精密轴封严格隔离，确保气体接触区域不使用任何油类介质。泵体采用强制油循环系统进行冷却，使抽速在接近大气压时仍保持稳定。
多电压马达驱动：LS120A搭载由爱发科开发的高效能（IE3）多电压马达，单一马达即可覆盖200至240V及380至460V的宽电压范围，可适配全球不同国家和地区的电网标准。

二、核心技术特点

1. 高抽速，大幅缩短工艺节拍

LS120A在接近大气压的压力区间仍能保持高抽速，可大幅缩短腔体的抽空时间。以真空镀膜前的腔室准备为例，LS120A可在更短时间内将腔体压力降至工艺要求范围，显著提升生产节拍和设备综合效率（OEE）。其最大抽速达120m³/h，在同级螺杆干泵中处于中上水平。

2. ECO-SHOCK节能技术，能耗显著优化

LS120A搭载爱发科的ECO-SHOCK节能技术，在维持高抽速的同时实现了极低的功耗。C型（洁净工艺型）在极限压力下的功耗仅为0.6kW。对比市场同级别进口螺杆干泵（如某品牌同规格产品极限压力功耗约1.2～1.5kW），LS120A的能耗降低约50%～60%。同时，ECO-SHOCK技术有效抑制了泵体发热量，间接降低了车间空调负荷，进一步节约了综合运营成本。

3. 无油洁净，杜绝污染风险

LS120A的气体接触区域不使用任何油类介质，配合非接触式螺杆设计和精密轴封隔离，从根源上杜绝了油蒸气和油雾的产生与返流。这一特性使其成为半导体晶圆制造、光学镀膜等对洁净度要求极为严苛的工艺场景的理想选择，有效避免了油污染导致的膜层缺陷和产品不良。

4. 低噪音运行，改善作业环境

LS120A标配内置消音器，运行噪音低至61dB(A)或以下。这一静音水平相当于日常办公室环境噪音级别，使其可直接部署于对噪音敏感的精密实验室、洁净车间等环境，无需额外加装隔音设施，显著改善了操作人员的工作环境。

5. 低运行成本，无需轴封气体

LS120A的运行成本极低——无需轴封密封气体，大幅减少了辅助气体的消耗。对于L型（轻工艺型），还可选配吹扫气体（Purge gas）功能，进一步提升对可凝性蒸汽的处理能力。

6. 丰富的选型配置，适配多元工艺

LS120A提供多种规格选型，可根据不同工艺需求灵活选择：

C型（洁净工艺型）：低功耗机型，内置ECO-SHOCK技术，适用于空气和氮气等洁净工艺场景，如溅射、蒸镀、层压、负载锁室及涡轮分子泵前级泵等。
L型（轻工艺型）：轻工艺机型，配备表面处理和吹扫功能，适用于含有蒸汽和易挥发液体药品等轻工艺场景，如真空干燥、冷冻干燥、灰化处理及一般工业用途等。

三、性能参数一览

参数	规格
最大抽速	120 m³/h
极限压力	≤0.6 Pa
功耗（极限压力，C型）	0.6 kW
噪音等级	61 dB(A) 或以下
电源规格	三相，50/60Hz，AC200-240V 或 AC380-480V
冷却方式	强制油循环冷却
冷却水流量	>2.0 L/min
进气口	KF50（水平）/ VG50（垂直）
排气口	KF40
重量	142 kg
适用标准	CE, cTUVus

数据来源：ULVAC规格表

四、典型应用场景

半导体制造：作为晶圆溅射、CVD、刻蚀等工艺的真空源，LS120A的无油洁净特性可有效避免晶圆表面污染，保障芯片良率。

光伏与平板显示：用于光伏电池片镀膜、FPD沉积工艺的真空系统，快速抽排反应气体，提升镀膜效率与产品品质。

真空镀膜：作为溅射、蒸镀等镀膜设备的主泵或前级泵，为光学镜片、装饰涂层等提供洁净高真空环境。

负载锁室与TMP前级：作为涡轮分子泵（TMP）的前级泵，或用于负载锁室（Load Lock）的快速抽空。

真空干燥与冷冻干燥：L型适用于含有蒸汽和挥发性物质的真空干燥、冷冻干燥等轻工艺场景。

科研与实验室：高校及科研院所的材料研发、物理化学实验等对洁净真空有要求的场景。

五、总结

LS120A是爱发科在螺杆型干式真空泵领域技术实力的集中体现。通过双螺杆非接触式容积压缩机制与ECO-SHOCK节能技术的精密配合，在实现120m³/h最大抽速和≤0.6Pa极限压力的同时，将极限压力下的功耗控制在0.6kW，对比市场同级别产品降低约50%～60%，噪音低至61dB(A)。其无油洁净、低运行成本、多电压适配及C型/L型灵活选型等综合优势，使其成为半导体制造、光伏镀膜、真空镀膜及精密科研等洁净工艺与轻工艺场景中兼具性能、能效与环保价值的理想选择。

购买渠道：本产品由深圳市京都玉崎电子有限公司负责中国区销售与技术支持。公司地址位于深圳市龙华新区梅龙大道906号创业楼。客户可通过化工仪器网商铺或直接联系销售团队进行产品咨询与订购。深圳京都玉崎凭借供应链体系和专业技术服务团队，为客户提供从选型咨询、现货供应到售后支持的一站式采购体验。

上一篇：日本爱发科HR60高温区域均热化干式真空泵技术介绍
下一篇：日本爱发科ULVAC PRC-003A密闭式电机罗茨泵技术介绍