爱发科VD系列油旋片真空泵技术介绍

更新时间：2026-07-15

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爱发科VD系列油旋片真空泵技术介绍：单级大抽速压缩原理与工业批量真空应用

在真空镀膜、真空热处理、真空包装及大规模工业产线等对抽速有较高要求的应用场景中介绍，高效可靠的中低真空获得能力是保障生产节拍与工艺一致性的核心前提。爱发科（ULVAC）VD系列油旋片式真空泵作为D系列和EC系列的全面升级换代产品，依托单级大抽速离心压缩技术，以高排气速度、极限真空稳定、空冷散热与易维护设计四大核心优势，成为面向批量生产型工业真空应用场景中兼具效率与可靠性的优选方案。

一、工作原理：单级大容积离心密封压缩

VD系列的核心工作原理建立在容积式压缩与油膜密封两大物理机制之上。它本质上是一种油旋片式单级容积真空泵——通过旋片在泵腔内的旋转运动，周期性地改变腔体容积，实现气体的吸入、压缩与排出。

泵的核心运动部件由电机驱动转子与安装在转子槽内的旋片组成：

离心密封配合：电机驱动转子在泵腔内偏心安装并高速旋转，旋片在离心力作用下紧贴泵腔内壁滑动，将泵腔分隔成多个可变容积的工作室。随着转子转动，工作室容积周期性变化——扩张时通过吸气口吸入气体，收缩时压缩气体并通过排气阀排出泵外。
单级排气系统：VD系列采用单级排气系统设计，气体在一个泵腔内完成从吸入到压缩排出的全过程。相比双级结构，单级设计在相同电机功率下可获得更大的抽气速率，更适合需要快速建立真空的批量生产场景。VD系列覆盖从VD151到VD90C等多个型号，50Hz工况下排气速度从14.4m³/h（240L/min）到90m³/h（1500L/min）不等。
油润滑与密封三重机制：作为油旋片式真空泵，VD系列使用专用真空泵油（ULVOIL R-7或R-7000）实现三重核心功能：

润滑：减少旋片与泵腔内壁的摩擦磨损，保障长期运转可靠性
密封：填充旋片与腔体间的微小间隙，防止气体返流，提升气密性
冷却：带走压缩过程中产生的热量，维持泵体温度稳定

空冷散热：VD系列全系采用空冷方式进行散热，无需配备复杂的冷却水循环系统，大幅降低了安装成本和场地要求，使设备部署更加灵活便捷。

二、核心技术特点

1. 大抽速覆盖，适配批量生产需求

VD系列产品线覆盖从中小抽速到大抽速的完整区间，满足不同规模工业产线的真空需求：

型号	50Hz抽速	60Hz抽速	吸气口径
VD151	14.4 m³/h（240 L/min）	17.3 m³/h（288 L/min）	KF25
VD201	20.2 m³/h（336 L/min）	24.2 m³/h（403 L/min）	KF25
VD30C	30 m³/h（500 L/min）	36 m³/h（600 L/min）	相当于VG40
VD40C	40 m³/h（670 L/min）	48 m³/h（800 L/min）	相当于VG40
VD60C	60 m³/h（1000 L/min）	72 m³/h（1200 L/min）	相当于VG40
VD90C	90 m³/h（1500 L/min）	106 m³/h（1800 L/min）	相当于VG50

数据来源：ULVAC规格表

大抽速带来的直接效益是腔室抽空时间显著缩短——以真空镀膜前的腔体准备为例，VD90C可在更短时间内将腔体压力降至工艺要求范围，大幅提升生产节拍和产线综合效率。

2. 稳定的极限真空度

VD系列全系极限压力可达6.7×10⁻¹Pa，这一性能指标足以满足真空镀膜、真空热处理、真空包装等绝大多数工业中低真空工艺对真空度的稳定要求。配合单级大抽速设计，VD系列在快速建立真空的同时保持了稳定的极限真空水平。

3. 空冷设计，灵活部署

VD系列全系采用空冷方式散热，无需配备冷却水循环系统和相关管路。这一设计的核心价值在于：

降低初期安装成本：免去冷却水配管安装、水质管理等繁琐工作
减少场地依赖：无需靠近冷却水源，设备部署更加灵活
简化运维：无需进行冷却水系统的日常维护
适配老旧厂房：对于基础设施条件有限的厂区同样适用

4. 紧凑设计与标准接口

VD系列延续了爱发科一贯的紧凑设计理念。以VD151为例，外形尺寸仅为514×170×240mm，相比旧型号D-240DK的497×231×251mm，在宽度和高度上均有显著缩减。标准化的吸气口径（KF25、VG40、VG50）和排气口径设计，使VD系列可直接替换旧款D系列和EC系列产品，便于客户进行设备升级换代，无需更改现有管路布局。

5. 维护便捷性

VD系列在维护设计上充分考虑了工业现场的实际需求：

大容量油量：VD30C/VD40C等型号配备较大的油量储备，延长了泵油更换周期
标准接口：KF25/VG系列标准接口方便与现有真空管路系统快速对接
成熟技术平台：基于爱发科数十年油旋片泵研发经验，VD系列在零部件标准化和可维护性方面经过充分验证

三、性能参数一览（VD系列主要型号）

参数	VD151	VD201	VD30C	VD40C	VD60C	VD90C
50Hz抽速	14.4 m³/h	20.2 m³/h	30 m³/h	40 m³/h	60 m³/h	90 m³/h
60Hz抽速	17.3 m³/h	24.2 m³/h	36 m³/h	48 m³/h	72 m³/h	106 m³/h
极限压力	6.7×10⁻¹Pa	6.7×10⁻¹Pa	6.7×10⁻¹Pa	6.7×10⁻¹Pa	6.7×10⁻¹Pa	6.7×10⁻¹Pa
使用油	ULVOIL R-7	ULVOIL R-7	ULVOIL R-7	ULVOIL R-7	ULVOIL R-7	ULVOIL R-7
冷却方式	空冷	空冷	空冷	空冷	空冷	空冷
吸气口径	KF25	KF25	VG40	VG40	VG40	VG50
外形尺寸(L×W×H)	514×170×240	536×181×269	660×210×324	660×210×324	761×280×370	831×280×370

数据来源：ULVAC规格表

四、典型应用场景

真空镀膜：作为真空镀膜设备的主抽泵或前级泵，为溅射、蒸发、离子镀等工艺提供快速、稳定的中低真空环境，适配批量生产型镀膜产线。

真空热处理：用于真空炉、真空钎焊、真空退火等热处理工艺的抽真空，VD系列的大抽速可快速降低炉内压力，缩短工艺周期。

真空包装与食品加工：在食品真空包装、真空冷冻干燥等工艺中，VD系列提供清洁、稳定的真空环境，保障产品品质与保质期。

电子与半导体制造：适配半导体封装、电子元件生产线的真空系统。对于对清洁度有更高要求的半导体工艺，爱发科另有PRC系列罗茨泵可供选择。

空调与制冷：用于空调、冰箱等制冷设备的抽真空和检漏工艺。

科研与实验室：高校及科研院所的中大型真空实验装置配套。

五、总结

VD系列是爱发科在单级油旋片真空泵领域技术实力的集中体现。作为D系列和EC系列的全面升级换代产品，VD系列通过单级大容积离心密封压缩机制与空冷散热设计的精密配合，在50Hz工况下实现了从14.4m³/h到90m³/h的宽广抽速覆盖和6.7×10⁻¹Pa的稳定极限真空。其大抽速、空冷灵活部署、紧凑设计与标准接口兼容等综合优势，使其成为真空镀膜、热处理、包装及电子制造等批量生产型工业真空应用场景中兼具效率与性价比的理想选择。

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