爱发科GLD-137AA高功能规格油旋片真空泵技术介绍

更新时间：2026-07-15

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爱发科GLD-137AA高功能规格油旋片真空泵技术介绍：双级逐级压缩原理与工业级高真空应用

在半导体制造、真空镀膜、热处理及科研实验等工业应用场景中，稳定可靠的高真空获得能力直接决定着工艺质量与生产效率。爱发科（ULVAC）GLD-137AA高功能规格油旋片式真空泵作为GLD系列中的高性能代表型号，依托双级排气逐级压缩技术，以高极限真空度、强制供油润滑、防逆流保护三大核心功能模块，成为面向高真空要求的工业与科研应用场景中兼具性能与可靠性的理想真空源。

一、工作原理：双级逐级压缩的精密封装

GLD-137AA的核心工作原理建立在容积式压缩与油膜密封两大物理机制之上。它本质上是一种油旋片式容积真空泵——通过旋片在泵腔内的旋转运动，周期性地改变腔体容积，实现气体的吸入、压缩与排出。

泵的核心运动部件由电机偏心驱动转子与安装在转子槽内的旋片组成：

离心密封配合：电机驱动转子偏心安装于泵腔内高速旋转，旋片在离心力和弹簧力双重作用下紧贴泵腔内壁滑动，将泵腔分隔成多个可变容积的工作室。随着转子转动，工作室容积周期性变化——扩张时吸入气体，收缩时压缩并排出气体。
双级排气系统：GLD-137AA采用两级排气系统设计，通过两个串联的泵腔实现逐级压缩。气体首先进入第一级（低压级）被初步压缩，随后进入第二级（高压级）进一步压缩至大气压以上并排出泵外。与单级排气系统相比，双级结构可将巨大的压缩比合理分配至两个压缩阶段，使每一级都在高效区间工作，从而获得更低的极限压力（更好的真空度）。
油润滑与密封三重机制：作为油旋片式真空泵，GLD-137AA使用专用真空泵油（SMR-100）实现三重核心功能：

润滑：减少旋片与泵腔内壁的摩擦磨损，保障长期运转可靠性
密封：填充旋片与腔体间的微小间隙，防止气体返流，提升气密性
冷却：带走压缩过程中产生的热量，维持泵体温度稳定
保护：防止内部零件腐蚀和氧化，延长设备使用寿命

二、核心技术特点

1. 高极限真空度，满足严苛工艺需求

GLD-137AA在气镇阀关闭状态下极限压力可达0.67Pa（皮拉尼计测量值）。这一性能指标足以满足真空镀膜、真空热处理、电子束焊接等对真空度有较高要求的工业工艺需求。气镇阀开启状态下极限压力为6.7Pa，可在处理含湿气气体时有效防止泵油乳化。

排气速度方面，50Hz工况下为135L/min，60Hz工况下可达162L/min，能够快速建立所需的真空环境，缩短工艺等待时间。

2. 气镇阀：应对可凝性蒸汽的专业方案

GLD-137AA配备的气镇阀是其关键技术模块之一。在抽除含有水蒸气等可凝性气体的工况时，开启气镇阀可向泵腔引入少量干燥空气，提高混合气体的露点，使水蒸气在排气阀打开之前不会凝结。

这一设计的核心价值在于：

防止乳化：避免水蒸气在压缩过程中凝结并与真空油混合形成乳化液
延长油寿命：显著延长泵油更换周期，降低运维成本
保持性能稳定：防止因油品污染导致的真空性能衰减

3. 强制供油机构：全压力范围的润滑保障

与依赖压差润滑的简单泵型不同，GLD-137AA安装了强制供油机构。这一设计确保泵在各种工作压力下均有稳定、充足的油量供应，无论是在大气压启动阶段还是在高真空运行阶段，都能保障旋片与泵腔内壁的充分润滑与密封。这不仅提升了泵的可靠性，也显著延长了核心运动部件的使用寿命。

4. 防逆流机构：停电保护的安心设计

GLD-137AA内置防逆流机构，在因停电等突发情况停机时自动切断油路，有效防止真空油返流至被抽真空腔室。这一设计对于保护昂贵的真空腔室、工艺基板及精密仪器免受油污染至关重要，尤其适用于半导体、光学镀膜等对洁净度要求严苛的场景。

5. 宽电压马达与国际认证

GLD-137AA配备宽电压马达，符合国际标准，可适应不同国家和地区的电网条件。产品已通过CE认证，可在全球范围内合规部署。

6. 低噪低振与易维护设计

GLD-137AA延续了GLD系列高性能、低振动、低噪声的家族特性。通过精密动平衡调校与优化的减震结构设计，可直接部署于对噪音和振动敏感的生产与实验环境。超大油位视窗让操作人员可直观观察泵油量与污染状态，配合强制供油机构，大幅降低了日常维护的复杂度。

三、性能参数一览

参数	规格
排气速度（50Hz）	135 L/min
排气速度（60Hz）	162 L/min
极限压力（气镇阀关）	0.67 Pa
极限压力（气镇阀开）	6.7 Pa
排气系统	两级
使用油品	SMR-100
电机	宽电压马达
国际认证	CE（可选）
核心功能模块	气镇阀、强制供油机构、防逆流机构

数据来源：ULVAC技术资料

四、典型应用场景

真空镀膜：作为真空镀膜设备的前级真空源，为溅射、蒸发等工艺提供稳定可靠的高真空基础环境。

真空热处理：用于真空炉、真空钎焊、真空退火等热处理工艺的抽真空，保障金属材料在无氧环境下的热处理品质。

半导体与电子制造：适配半导体制程设备、电子元件生产线的真空系统，满足对洁净度与真空稳定性的双重要求。

科研与实验室：高校及科研院所物理、化学、材料等实验室的高真空实验配套。

辅助排气：作为涡轮分子泵、机械增压泵的前级或辅助排气泵，构建多级真空系统。

五、总结

GLD-137AA是爱发科在中等抽速油旋片真空泵领域技术实力的集中体现。通过双级排气逐级压缩机制与强制供油润滑系统的精密配合，实现了0.67Pa的高极限真空度与长期稳定的排气性能。其气镇阀、强制供油机构和防逆流机构三大核心功能模块的协同设计，使其在含湿气工艺、突发停电等复杂工况下依然保持可靠的真空获取能力，成为真空镀膜、热处理、半导体制造及科研实验等工业级高真空应用场景中兼具性能与可靠性的优选方案。

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