日本爱发科ULVAC正式发布LS300A螺杆型干式真空泵上新

更新时间：2026-07-17

浏览次数：2

日本爱发科ULVAC正式发布LS300A螺杆型干式真空泵上新

日本爱发科ULVAC正式发布LS300A螺杆型干式真空泵上新，以高速排气与低功耗技术赋能半导体洁净工艺

全球真空技术综合解决方案供应商日本爱发科（ULVAC）今日正式面向中国市场推出LS300A螺杆型干式真空泵。作为LS系列中的中等抽速代表机型，LS300A依托双螺杆无油容积式压缩与ECO-SHOCK节能技术两大核心技术，以380m³/h最大抽速、≤0.1Pa极限压力、61dB(A)低噪音运行等综合性能，成为面向半导体溅射/沉积、Load Lock腔室、TMP前级泵及真空干燥等洁净工艺与轻工艺场景的可靠选择。该产品目前深圳仓库有现货供应，可满足客户的快速交付需求。

双螺杆非接触式压缩，实现无油洁净运行

LS300A的核心工作原理建立在双螺杆非接触式容积压缩这一物理机制之上。两根精密加工的螺杆转子在同步齿轮驱动下以相反方向高速旋转，转子之间以及转子与泵壳之间始终保持微米级的微小间隙，无需任何润滑油作为密封介质。这一设计从根源上杜绝了油蒸气的产生与返流，确保气体接触区域不使用任何油类介质。

随着转子旋转，气体由进气口被吸入后，在螺杆螺旋槽与泵壳之间形成的封闭腔体中沿轴向连续传递。腔体容积沿输送方向逐渐缩小，气体被逐级压缩，最终从排气口排出。LS300A的最大抽速达380m³/h，极限压力可达≤0.1Pa。

ECO-SHOCK节能技术，功耗低至1.0kW

LS300A搭载爱发科ECO-SHOCK节能技术，这是C型规格的标准配置。在维持高抽速的同时，极限压力下的功耗可低至1.0kW或更低。对比传统干式真空泵，ECO-SHOCK技术可在不影响抽气性能的前提下大幅降低电力消耗，同时有效抑制泵体发热量，间接降低车间空调能耗。此外，LS300A无需轴封气体，进一步降低了主要使用氮气的洁净工艺的运行成本。

低噪音运行，改善作业环境

LS300A标配专用消音器，运行噪音低至61dB(A)或以下。这一静音水平使其可直接部署于对噪音敏感的洁净车间、精密实验室等环境，无需额外加装隔音设施。

丰富的选型配置，适配多元工艺

LS300A提供两种规格选型，可根据不同工艺需求灵活选择：

C型（洁净工艺型，LS300AC）：低功耗型，内置ECO-SHOCK技术。适用于洁净排气场景，如空气排气和N₂排气、溅射/沉积/键合、Load Lock腔室、TMP前级泵等。
L型（轻工艺型，LS300AL）：轻工艺型，配备表面处理和吹扫功能。适用于排出水蒸气和挥发性化学品、真空干燥、冷冻干燥、灰化、一般工业应用等场景。

宽电压适配与便捷集成

LS300A搭载爱发科高效能（IE3）多电压马达，单一马达可覆盖宽电压范围：200V级（三相，50/60Hz，AC200-240V）或400V级（三相，50/60Hz，AC380-480V）。冷却水流量需大于4.0L/min。对于希望进一步提升抽速的用户，爱发科建议将LS300A与机械增压泵结合使用。

多元应用场景

LS300A广泛应用于半导体与工业制造领域：在半导体溅射/沉积工艺中提供洁净无油的真空环境；在Load Lock腔室中实现快速抽真空；作为涡轮分子泵（TMP）前级泵使用；在真空干燥、冷冻干燥等轻工艺中稳定运行；在一般工业应用中适配各类洁净排气需求。

现货供应，快速交付

LS300A目前深圳仓库有现货供应，可满足客户的快速交付需求。有采购意向的客户可联系授权经销商确认具体库存数量与交付周期。

购买渠道：本产品由深圳市京都玉崎电子有限公司负责中国区销售与技术支持。公司地址位于深圳市龙华新区梅龙大道906号创业楼。客户可通过化工仪器网商铺或直接联系销售团队进行产品咨询与订购。深圳京都玉崎凭借供应链体系和专业技术服务团队，为客户提供从选型咨询、现货供应到售后支持的一站式采购体验。

上一篇：日本爱发科ULVAC正式发布GLD-040油旋片式真空泵上新
下一篇：日本爱发科ULVAC正式发布CR60B空冷式罗茨型干式真空泵上新