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Cassification
更新时间：2026-07-16 
浏览次数：4针对半导体先进制程、大型真空镀膜线及空间环境模拟等对超高真空度和超大抽气负荷有要求的应用场景，爱发科今日正式推出CRYO-U16系列高负荷低温泵。该产品凭借超大容量低温板阵列、快速再生能力和节能环保设计，为制造业提供了一款性能强悍的低温真空核心部件。
CRYO-U16采用全金属密封结构和二级GM制冷机，可实现低于10⁻⁷Pa的超高真空环境。其低温板阵列经过优化设计，对水蒸气、氮气、氧气及氩气等主要残余气体具有抽速和吸附容量，尤其适用于需要大量工艺气体注入的溅射、蒸发及离子注入等工艺。在同等制冷功率下，CRYO-U16的有效抽气面积较上一代提升约15%，显著缩短工艺节拍时间。
产品标配智能化温度监控与再生控制系统，支持手动/自动再生模式，并具备远程通信接口，可集成到工厂自动化管理系统。再生过程中，加热器和吹扫气路协同工作，实现快速解析，将再生停机时间压缩至低，提升设备综合效率（OEE）。同时，该低温泵运行能耗优化，进一步降低客户长期用电成本。
CRYO-U16已通过严格的震动测试和热循环测试，适用于对机械稳定性要求高的光刻机、电子显微镜及粒子加速器等精密设备。爱发科凭借数十年低温泵研发经验，再次以CRYO-U16彰显了其在超高真空领域的技术地位，为国内半导体产业链自主可控提供强有力的装备支撑。
购买渠道：本产品由深圳市京都玉崎电子有限公司负责中国区销售。深圳京都玉崎作为京都玉崎株式会社在华全资子公司，已在全国设立包括深圳、苏州、重庆、成都、北京、江西在内的多家分支机构，构建了覆盖全国的服务网络。公司专业从事爱发科ULVAC全系列真空设备的代理经销，涵盖低温泵、分子泵、干泵等产品线。客户可通过公司或化工仪器网商铺获取产品资料与报价。深圳京都玉崎承诺提供日本产品、专业技术咨询及快速响应的售后服务
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