日本爱发科 LS 系列螺杆型干式真空泵重磅上市深圳京都玉崎现货

更新时间：2026-07-15

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【2026 年 7 月新品发布】全球真空技术企业爱发科（ULVAC）正式发布LS 系列螺杆型干式真空泵。该系列产品凭借特殊的螺杆转子型线设计与节电技术深度融合，成功打破 "大排气量必然高能耗" 的行业困局，为半导体制造、液晶面板、新能源光伏等制造领域带来清洁、高效、可持续的真空动力新选择。

LS 系列采用爱发科自主研发的螺杆型线优化设计，在保证大排气量输出的同时，显著降低转子运转过程中的泄漏与气流损耗。配合集团专属节电控制技术，整机综合能耗较同级别传统干泵大幅下降，真正实现高速排气与低功耗兼顾，为产线长期运营节省可观的用电成本。

全系列共覆盖 4 种排量机型，客户可根据腔体容积、工艺负荷及使用场景灵活匹配最佳规格，从研发实验线到量产级大产线均能精准适配。

作为干式真空泵，LS 系列全程无工作油参与抽气过程，从根源上杜绝了油蒸气返流污染真空腔体的风险，输出洁净无油真空环境，尤其适用于对清洁度要求严苛的半导体晶圆加工、薄膜沉积、刻蚀及 OLED 蒸镀等精密制造工艺。

针对高负荷连续运转工况，LS 系列在结构强度、热管理与耐磨性能上均做了工业级强化设计，保障 7×24 小时稳定运行，设备耐用性与长期可靠性表现优异。

在传统 LS 基础平台上，该系列还提供耐腐蚀性增强版本，通过特殊表面处理与结构优化，可稳定处理含腐蚀性气体及伴随粉尘产生的工艺排气，广泛覆盖化工、医药、食品冻干等复杂工况场景，一机多用降低产线设备投入成本。

深圳京都玉崎作为爱发科授权经销商，全面负责 LS 系列及 ULVAC 全系列真空泵产品的华南地区销售与技术服务，提供选型咨询、现货供应、售后维保一站式支持。

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