干泵基础知识介绍

更新时间：2026-07-22

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干泵是指各种不使用油或其他液体即可实现真空的真空泵的总称。

干泵是指利用油和其他材料制造真空，与湿泵形成对比。根据机构不同，有多种类型，如根式干泵、滚泵、爪式干泵和隔膜式干泵。

与旋转泵不同，它不产生油雾，适合在清洁环境中使用。

干泵的主要应用包括半导体制造线、食品加工线以及电子显微镜等各种科学分析设备。对于这些应用，避免对使用环境造成污染至关重要。干式泵的主要特点是排气中不含油雾或其他物质，适合需要清洁环境的应用。

然而，干泵达到的真空约为1Pa，对于典型真空来说并不高。当需要高真空时，它们与涡轮分子泵或离子泵结合使用。此外，由于排气速度因类型不同而异，因此必须根据预期用途选择合适的类型。

干泵有多种类型，但许多被归类为燃气输送泵。所有燃气输送泵都设有一个用于吸入气体的进气口和一个用于排放气体的排气口。通过从进气口吸入气体并通过排气口排出，泵内的气体得以排出。

通过运输各种气体，空间中的气体数量减少，形成真空状态。与干泵不同，湿泵使用液压油，确保气体输送过程中真空泵内部密封。

除了密封外，液压油还在减少零件间磨损、减少摩擦、吸收气体压缩产生的热量以及为泵部件提供防锈等方面发挥作用。

干泵有多种结构用于输送气体。主要干泵为体积输送式，旋转式为主流。

叶片泵是一种带有多个叶片的圆柱体，位于圆形空间内，旋转时仿佛通过叶片在空间内吸入空气。叶片产生的离心力使叶片接触圆形空间壁，形成密封空间。

爪泵由两个并排排列的爪形转子组成，旋转方向相反，用爪子排出气体。气体被压缩后排出泵外。

多级根泵也是一种通过一对转子向泵外部方向相反旋转吸入气体的泵。转子采用眉形横截面叶片。

滚泵是一种在固定螺旋内输送气体的泵，同时旋转滚筒旋转。

螺旋泵由1~3个螺丝和一个安装螺丝的套管组成。随着螺旋旋转，气体被推出套管时被移动和排出。

除了上述旋转泵外，其他具有体积传递的干式泵也配备了往复式泵。往复运动部件包括隔膜、活塞、风箱等。

干泵的气体路径上没有液压油。没有油雾混入废气或油在真空容器内蒸发和扩散的风险。干泵的一个主要特点是能够提供干净的排气和真空空间。

另一个主要优势是你不需要定期更换机油等维护。干泵的其他特点包括体积小巧、轻便、振动低、噪音低。