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产品分类
Cassification
更新时间：2026-07-17 
浏览次数：18在真空镀膜、真空热处理、真空检漏及空间环境模拟等大容量真空系统中，真空泵不仅需要提供足够高的抽速以满足快速抽空的要求，还需在长时间连续运行中保持稳定的排气性能。爱发科（ULVAC）VS系列单级油旋片式真空泵正是针对这一需求而开发，其中VS650B作为该系列的中大抽速代表型号，依托单级大容积旋片压缩技术，以650m³/h抽速、空冷/水冷双模式、低振动等特性，成为面向大容量工业真空系统的可靠选择。
VS650B的核心工作原理建立在单级旋片离心压缩与油膜密封两大物理机制之上。作为一种单级油旋片式容积真空泵，它通过旋片在泵腔内的旋转运动，周期性地改变封闭腔体的容积，实现气体的吸入、压缩与排出。
泵的核心运动部件由电机驱动转子与安装在转子槽内的旋片组成：
离心密封配合：电机驱动转子在泵腔内偏心安装并高速旋转，旋片在离心力作用下紧贴泵腔内壁滑动，将泵腔分隔成多个可变容积的工作室。随着转子转动，工作室容积周期性变化——扩张时通过吸气口吸入气体，收缩时压缩气体并通过排气阀排出泵外。
单级排气系统：VS650B采用单级排气系统设计，气体在一个泵腔内完成从吸入到压缩排出的全过程。相比双级结构，单级设计在相同电机功率下可获得更大的抽气速率，适合需要快速建立真空的大容量工业场景。
油润滑与密封：作为油旋片式真空泵，VS650B使用专用真空泵油（SMR-200）实现三重功能——润滑旋片与泵腔内壁减少磨损、密封旋片与腔体间的微小间隙防止气体返流、带走压缩过程中产生的热量维持泵体温度稳定。
强制供油与冷却系统：VS650B配备强制供油系统，确保在高负荷工况下各运动部件获得充分润滑。冷却方式可根据安装环境选择空冷或水冷，灵活的冷却方案使其可适配不同厂房的基础设施条件。
1. 650m³/h高抽速，适配大容量系统
VS650B在50Hz电源条件下的设计抽速达650m³/h（约10,833L/min） ，60Hz条件下达750m³/h（约12,500L/min）。这一抽速区间适用于光学薄膜蒸镀系统、反射镜薄膜沉积系统、装饰膜蒸镀系统、卷绕式蒸镀机、在线式溅射系统、真空热处理炉、真空冷冻干燥系统、真空检漏仪及空间环境模拟舱等大容量真空场景，可在较短时间内完成大容积腔体的抽空。
2. 稳定的极限真空度
VS650B的极限压力在气镇阀关闭状态下可达≤8Pa，气镇阀开启状态下为≤70Pa。这一性能可满足真空镀膜、热处理、检漏等工业工艺对基础真空度的要求。
3. 空冷/水冷双模式可选
VS650B提供空冷（-A型）和水冷（-W型） 两种冷却方式。空冷型无需配备冷却水循环系统，降低了安装成本和场地要求；水冷型则适用于环境温度较高或需要精确控制泵体温差的场景，冷却水流量需≥3.0L/min，冷却水温度为5～30℃，出入口压差需≥0.1MPa。这一灵活配置使VS650B可适配不同厂房的基础设施条件。
4. 低振动设计，降低安装门槛
VS650B采用单级旋片设计配合高速电机（50Hz下1500rpm，60Hz下1800rpm），显著降低了低频区的振动水平。这一特性使泵可直接安装于厂房上层，无需进行特殊的基础加固工程，大幅降低了安装成本。与工业标准油旋片泵相比，同系列产品重量减轻约35%，占地面积减少约20%。
5. 大型油雾过滤器与回油机构
VS650B内置大容量油箱（油量23～27L） 和油雾过滤器，有效减少换油频率。油雾过滤器采用易更换的滤芯设计，并配备自动回油机构——将油雾过滤器中分离出的油自动收集并送回泵内循环使用。此外，泵内还设有油过滤器，用于去除混入油中的颗粒物和粉尘。
6. 标配恒温器与异常检测
VS650B标配恒温器，可实时检测泵的温升异常、油量减少或泵的异常状态。这一安全设计可在设备出现异常时及时发出信号，防止因过热或缺油导致的设备损坏。
7. 可直接搭载机械增压泵
VS650B支持机械增压泵（罗茨泵）的直接安装，通过专用的MBP安装套件即可实现无框架直连。与罗茨泵串联使用后可获得更大的排气量，使系统抽速进一步提升。
8. 低噪音运行
VS650B在极限压力下的噪音水平为75dB(A) （空冷型50Hz）。爱发科通过优化运行机构设计，在极限压力下有效降低了运转噪音。
| 参数 | VS650B-A（空冷） | VS650B-W（水冷） |
|---|---|---|
| 设计抽速（50Hz） | 650 m³/h（10,833 L/min） | 650 m³/h（10,833 L/min） |
| 设计抽速（60Hz） | 750 m³/h（12,500 L/min） | — |
| 极限压力（气镇阀关） | ≤8 Pa | ≤8 Pa |
| 极限压力（气镇阀开） | ≤70 Pa | ≤70 Pa |
| 消耗功率（极限压力，50Hz） | 8 kW | 8 kW |
| 电机容量 | 22 kW（4极） | 22 kW（4极） |
| 电源电压（50Hz） | 200-240 / 380-415 V | 200-240 / 380-415 V |
| 电源电压（60Hz） | 200-240 / 380-460 V | — |
| 噪音（极限压力，50Hz） | 75 dB(A) | 72 dB(A) |
| 使用油品 | SMR-200 | SMR-200 |
| 油量 | 23～27 L | 23～27 L |
| 冷却方式 | 空冷 | 水冷 |
| 冷却水流量 | — | ≥3.0 L/min |
| 冷却水温度 | — | 5～30℃ |
| 吸气口法兰 | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K |
| 排气口法兰 | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K |
| 外形尺寸（W×D×H） | 1490×905×705 mm | 1490×841×705 mm |
| 重量 | 820 kg | 820 kg |
数据来源：爱发科产品规格表
真空镀膜：用于光学薄膜蒸镀系统、反射镜薄膜沉积系统、装饰膜蒸镀系统、卷绕式蒸镀机、在线式溅射系统等镀膜设备的真空排气。VS650B的650m³/h高抽速可快速建立镀膜所需的真空环境，提升产线节拍。
真空热处理：用于真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉等热处理设备的真空系统。强制供油和高效冷却系统确保在高负荷工况下排气性能的稳定。
真空检漏：用于真空检漏仪的真空系统，尤其适用于零部件自动化检漏产线中大量重复的抽真空-检漏循环操作。
空间环境模拟：用于空间环境模拟舱等大型真空腔体的排气。
真空干燥与冷冻干燥：用于真空冷冻干燥系统等。
真空包装与吸附输送：用于真空包装、真空吸附与输送等工业场景。
VS650B是爱发科在单级大抽速油旋片真空泵领域的一款代表性产品。通过单级大容积旋片离心压缩机制与强制供油润滑系统的配合，在实现650m³/h（50Hz）抽速和≤8Pa极限压力的同时，提供了空冷/水冷双模式可选、低振动低噪音运行、大型油雾过滤器与自动回油机构等综合特性。其可直接搭载机械增压泵获得更大排气量的能力，使其成为真空镀膜、热处理、检漏及空间环境模拟等大容量工业真空系统中兼具效率与可靠性的选择。
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