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ULVAC爱发科精品手动高速光谱椭偏仪

ULVAC爱发科精品手动高速光谱椭偏仪

透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量

产品型号：UNECS-3000A
厂商性质：经销商
更新时间：2024-04-27
访问量：228

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ULVAC爱发科精品手动高速光谱椭偏仪

可以进行映射测量的自动台型

UNECS系列是一种分光椭偏仪，可以高速、高精度地测量薄膜的厚度和折射率。采用测量方法，实现高速测量和紧凑化。我们提供广泛的产品阵容，以适应不同的应用，包括便携式类型、自动平台类型和与真空环境兼容的内置类型。

UNECS-1500A/2000A/3000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量基材表面内的膜厚分布，并将结果显示在彩色图上。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量

特征

高速测量：

采用快照方式，实现了最高速度20ms的高速测量。

兼容可见光谱：

波长范围可选择标准型（530nm~750nm）和可见光谱型（380nm~760nm）。

紧凑的传感器单元：

光发射/接收传感器仅由光学元件组成，没有旋转机构，并且非常轻便和紧凑，并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容：

我们拥有可适应各种应用的产品阵容，包括便携式类型、手动/自动平台类型、大型基板类型以及与大气/真空环境兼容的内置类型。

规格

模型	1500A	2000A	3000A
波长范围	530~750nm、380~760nm（任选其一）
光斑直径	φ1mm、φ0.3mm（任选其一）
入射角度	70º固定
膜厚再现性	1σ = 0.1nm
膜厚范围	1nm〜2μｍ
测量时间	受光：20ms 〜 3000ms　演算：300ms
阶段	φ150mm自动	φ200mm自动	φ300mm自动
自动测量	200点	200点	2,000点
控制电脑	笔记本型（带操作/分析软件）
机器构成	测量单元、控制器、操作电脑（笔记本型）、使用说明书（CD）

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