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ULVAC爱发科 精品 手动 高速光谱 椭偏仪

ULVAC爱发科 精品 手动 高速光谱 椭偏仪

透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等)的膜厚、折射率、消光系数的测量

  • 产品型号:UNECS-3000A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-04-27
  • 访  问  量:152
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详细介绍

ULVAC爱发科 精品 手动 高速光谱 椭偏仪

ULVAC爱发科 精品 手动 高速光谱 椭偏仪


可以进行映射测量的自动台型


UNECS系列是一种分光椭偏仪,可以高速、高精度地测量薄膜的厚度和折射率。采用测量方法,实现高速测量和紧凑化。我们提供广泛的产品阵容,以适应不同的应用,包括便携式类型、自动平台类型和与真空环境兼容的内置类型。

UNECS-1500A/2000A/3000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能,可快速自动测量基材表面内的膜厚分布,并将结果显示在彩色图上。

用途

透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等)的膜厚、折射率、消光系数的测量

特征

高速测量:

采用快照方式,实现了最高速度20ms的高速测量。

兼容可见光谱:

波长范围可选择标准型(530nm~750nm)和可见光谱型(380nm~760nm)。

紧凑的传感器单元:

光发射/接收传感器仅由光学元件组成,没有旋转机构,并且非常轻便和紧凑,并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容:

我们拥有可适应各种应用的产品阵容,包括便携式类型、手动/自动平台类型、大型基板类型以及与大气/真空环境兼容的内置类型。


规格

模型1500A2000A3000A
波长范围530~750nm、380~760nm(任选其一)
光斑直径φ1mm、φ0.3mm(任选其一)
入射角度70º固定
膜厚再现性1σ = 0.1nm
膜厚范围1nm〜2μm
测量时间受光:20ms 〜 3000ms 演算:300ms
阶段φ150mm自动φ200mm自动φ300mm自动
自动测量200点200点2,000点
控制电脑笔记本型(带操作/分析软件)
机器构成测量单元、控制器、操作电脑(笔记本型)、使用说明书(CD)


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