ULVAC爱发科精品手动高速光谱椭偏仪

ULVAC爱发科精品手动高速光谱椭偏仪

透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量

立即咨询

联系电话：

详细介绍

ULVAC爱发科精品手动高速光谱椭偏仪

UNECS系列是一款光谱椭偏仪，可高速、高精度测量薄膜的厚度和折射率。采用测量方法，实现高速测量和紧凑化。我们提供广泛的产品阵容，以适应不同的应用，包括便携式类型、自动平台类型和与真空环境兼容的内置类型。

UNECS-1500M配备了易于操作的手动R-θ平台，兼容φ150mm，使测量定位变得容易。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量

特征

高速测量：

采用快照方式，实现了最高速度20ms的高速测量。

兼容可见光谱：

波长范围可选择标准型（530nm~750nm）和可见光谱型（380nm~760nm）。

紧凑的传感器单元：

光发射/接收传感器仅由光学元件组成，没有旋转机构，并且非常轻便和紧凑，并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容：

我们拥有可适应各种应用的产品阵容，包括便携式类型、手动/自动平台类型、大型基板类型以及与大气/真空环境兼容的内置类型。

规格

波长范围		530~750nm、380~760nm（任选其一）
光斑直径		φ1mm、φ0.3mm（任选其一）
入射角度		70º固定
膜厚再现性		1σ = 0.1nm
膜厚范围		1nm〜2μｍ
测量时间		受光：20ms 〜 3000ms　演算：300ms
阶段		φ150mm手动R-θ平台
控制电脑		笔记本型（带操作/分析软件）
机器构成		测量主体（带手动载物台、控制箱）、光源装置、操作电脑（笔记本电脑型）、使用说明书（CD）