ULVAC爱发科 精品 触针 轮廓仪

ULVAC爱发科 精品 触针 轮廓仪

ULVAC爱发科 精品 触针 轮廓仪

P-170是在经过验证的P-17的基础上增加了自动运输机构的型号。标准配备传送机器人、预对准器、自动XY-θ平台、模式识别功能等，因此只需放置盒即可自动测量。

特征

■晶圆自动传送机构

・支持Φ200mm单开晶圆盒

・支持双开晶圆盒（选配）

・晶圆传送机械手、非接触式预对准器

・支持φ75mm～φ150mm（选配）

■晶圆表面自动测量

・高精度自动XY-采用 θ 平台

- 测量位置最多可注册 1,000 个位置

- 使用模式识别功能校正测量位置

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等