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日本FUJIKIN 精品 压力传感器 深圳仓库现货

应用任何压力都可以通过电信号设定。当多个质量流量连接到一条管线时,压力会被调整,以使气体流量的快速波动不会影响其他质量流量。可用作晶圆背面冷却的控制器。用于下游压力控制。
日本FUJIKIN 精品 压力传感器 深圳仓库现货

  • 产品型号:UPC-4CW2-C150H
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-03-19
  • 访  问  量:207
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日本FUJIKIN 精品 压力传感器 深圳仓库现货 

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应用
任何压力都可以通过电信号设定。
当多个质量流量连接到一条管线时,压力会被调整,以使气体流量的快速波动不会影响其他质量流量。
可用作晶圆背面冷却的控制器。
用于下游压力控制。

特征



●工作原理:内置压力传感器,保持压力恒定。
●可通过电信号设定任意压力。
●在质量流量控制器的上游连接时,可以进行非常稳定的流量控制。
●当多个质量流量控制器连接到一条线路时,气体流量的突然波动可能会影响其他质量流量控制器。在这种情况下,使用 UPC 系列可以防止这种影响(下游压力控制型)。
●UPCUS(上游压力控制型)保持MO-CVD等液源的内部压力恒定,提高汽化量的稳定性。
●可用作晶片背面冷却的控制器。还提供带流量监控器的高温型(150°C、250°C)。
●可用于从半导体、平板显示器、太阳能电池板等技术产业到一般产业的广泛领域的压力控制。
●兼容DeviseNet TM接口(请注明)。符合 RoHS 标准:本产品符合 RoHS 规定并且是环保的。

规格
模型UPC
(下游压力控制器)
FCST1050(M)
ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
压力范围FS 13.3kPa abs.(100Torr)FS 150/300/500kPaFS 150/300/500kPa
控制压力范围1 到 100%1 至 100% *1
控制阀CV值-L型:0.0055 / M型:0.011 / H型:0.03
压力调节系统
(自动调零后)
1~40%:±0.2%FS
40~100%:±0.5%SP
FS 150kPa abs. [1 至 40%:±0.2%FS,40 至 100%:±0.5%SP]
FS 300/500kPa abs. [1 至 20%:±0.1%FS,20 至 100%:±0.5% SP]
供气压力范围0 至 200kPaG~897.3kPaG-
耐压性200kPaG1MPaG
外部泄漏<1.0×10 -10 Pa・m3 /sec
使用温度范围0~50℃(系统保证温度范围:15~35℃)*2
电源电压、电流消耗+15VDC:120mA,-15VDC:120mA
DeviceNet:+11 至 25VDC,4.0W
压力设定/输出信号0-10VDC/0-10VDC0-5VDC/0-5VDC
接液部分材料SUS316L,镍钴合金SUS316L,镍钴合金,FS9
连接配件/尺寸1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)



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