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应用任何压力都可以通过电信号设定。当多个质量流量连接到一条管线时,压力会被调整,以使气体流量的快速波动不会影响其他质量流量。可用作晶圆背面冷却的控制器。用于下游压力控制。日本FUJIKIN 精品 压力传感器 深圳仓库现货
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日本FUJIKIN 精品 压力传感器 深圳仓库现货
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模型 | UPC (下游压力控制器) | FCST1050(M) ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet) | |
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压力范围 | FS 13.3kPa abs.(100Torr) | FS 150/300/500kPa | FS 150/300/500kPa |
控制压力范围 | 1 到 100% | 1 至 100% *1 | |
控制阀CV值 | - | L型:0.0055 / M型:0.011 / H型:0.03 | |
压力调节系统 (自动调零后) | 1~40%:±0.2%FS 40~100%:±0.5%SP | FS 150kPa abs. [1 至 40%:±0.2%FS,40 至 100%:±0.5%SP] FS 300/500kPa abs. [1 至 20%:±0.1%FS,20 至 100%:±0.5% SP] | |
供气压力范围 | 0 至 200kPaG | ~897.3kPaG | - |
耐压性 | 200kPaG | 1MPaG | |
外部泄漏 | <1.0×10 -10 Pa・m3 /sec | ||
使用温度范围 | 0~50℃(系统保证温度范围:15~35℃)*2 | ||
电源电压、电流消耗 | +15VDC:120mA,-15VDC:120mA DeviceNet:+11 至 25VDC,4.0W | ||
压力设定/输出信号 | 0-10VDC/0-10VDC | 0-5VDC/0-5VDC | |
接液部分材料 | SUS316L,镍钴合金 | SUS316L,镍钴合金,FS9 | |
连接配件/尺寸 | 1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm) | 1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm) |
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