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深圳仓库现货 日本FUJIKIN 压力 控制器

应用任何压力都可以通过电信号设定。当多个质量流量连接到一条管线时，压力会被调整，以使气体流量的快速波动不会影响其他质量流量。可用作晶圆背面冷却的控制器。用于下游压力控制。
深圳仓库现货 日本FUJIKIN 压力 控制器

  • 产品型号：UPC-4CW2-C150H
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2024-03-19
  • 访  问  量：276
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详细介绍

深圳仓库现货 日本FUJIKIN 压力 控制器

深圳仓库现货 日本FUJIKIN 压力 控制器




应用
任何压力都可以通过电信号设定。
当多个质量流量连接到一条管线时，压力会被调整，以使气体流量的快速波动不会影响其他质量流量。
可用作晶圆背面冷却的控制器。
用于下游压力控制。

特征



●工作原理：内置压力传感器，保持压力恒定。
●可通过电信号设定任意压力。
●在质量流量控制器的上游连接时，可以进行非常稳定的流量控制。
●当多个质量流量控制器连接到一条线路时，气体流量的突然波动可能会影响其他质量流量控制器。在这种情况下，使用 UPC 系列可以防止这种影响（下游压力控制型）。
●UPCUS（上游压力控制型）保持MO-CVD等液源的内部压力恒定，提高汽化量的稳定性。
●可用作晶片背面冷却的控制器。还提供带流量监控器的高温型（150°C、250°C）。
●可用于从半导体、平板显示器、太阳能电池板等技术产业到一般产业的广泛领域的压力控制。
●兼容DeviseNet TM接口（请注明）。符合 RoHS 标准：本产品符合 RoHS 规定并且是环保的。

规格
模型UPC
（下游压力控制器）		FCST1050(M)
ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
压力范围FS 13.3kPa abs.(100Torr)FS 150/300/500kPaFS 150/300/500kPa
控制压力范围1 到 100%1 至 100% *1
控制阀CV值-L型：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03
压力调节系统
（自动调零后）		1～40%：±0.2%FS
40～100%：±0.5%SP		FS 150kPa abs. [1 至 40%：±0.2%FS，40 至 100%：±0.5%SP]
FS 300/500kPa abs. [1 至 20%：±0.1%FS，20 至 100%：±0.5% SP]
供气压力范围0 至 200kPaG～897.3kPaG-
耐压性200kPaG1MPaG
外部泄漏＜1.0×10 -10 Pa･m3 /sec
使用温度范围0～50℃（系统保证温度范围：15～35℃）*2
电源电压、电流消耗+15VDC：120mA，-15VDC：120mA
DeviceNet：+11 至 25VDC，4.0W
压力设定/输出信号0-10VDC/0-10VDC0-5VDC/0-5VDC
接液部分材料SUS316L，镍钴合金SUS316L，镍钴合金，FS9
连接配件/尺寸1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)


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