紫外线照射装置SUN ENERGY 紫外臭氧清洗仪

紫外线照射装置SUN ENERGY 紫外臭氧清洗仪
SKM系列机器人将工件
从供料区运送到存储区。

| 独立式机器人运输型 | 用于大规模生产 |

这是一款适用于大规模生产的独立式机器人运输设备，可根据您的需求进行定制。

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紫外线照射装置SUN ENERGY 紫外臭氧清洗仪

| 独立式机器人运输型 | 用于大规模生产 |

这是一款适用于大规模生产的独立式机器人运输设备，可根据您的需求进行定制。

这套紫外线照射设备配备了机械臂清洗机器人。它可以自动对尺寸达 12 英寸的晶圆执行一系列操作，包括供料→运输→紫外线处理→存储。

配备用于晶圆转移的理想机械臂清洗机器人，能够以高速、
高精度。此外，我们还提供多种高精度转移设备，可处理除晶圆以外的其他工件。

紫外线照射装置SUN ENERGY 紫外臭氧清洗仪

机械臂

我们可以制造适用于最大尺寸为 300 毫米（12 英寸）的设备。
我们还可以根据玻璃基板等非晶圆材料的形状和尺寸，为其推荐最佳的紫外线照射设备。

紫外线照射装置SUN ENERGY 紫外臭氧清洗仪

晶圆

紫外灯的辐照度会随时间推移而降低。紫外辐照度测量模式会在处理前自动测量辐照度，并根据测得的辐照度值自动计算和设置所需的照射时间。这确保了在恒定的紫外照射量下进行稳定的处理。

我们运用光学设计技术计算紫外线照射量，优化紫外线灯的布置，并将紫外线均匀分布在有效照射区域，从而实现高效、精准的性能设计。我们
还可根据客户需求，例如工件的加工温度和所需的照明强度，提供优化的紫外线照射设备。

紫外线照射装置SUN ENERGY 紫外臭氧清洗仪

这是一款安全的紫外线照射装置，不会向外泄漏臭氧或紫外线。它
标配联锁功能，当灯亮着时，如果门打开，灯会自动关闭。

紫外线灯产生的臭氧可通过风机排出，同时紫外线灯也需要冷却。排出的臭氧应排放到室外，或先用催化剂或其他方法分解后再排放。

紫外线照射装置SUN ENERGY 紫外臭氧清洗仪

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