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可以通过改变电压暂降发生后仅0.001秒检测并备份的设置,将电压暂 降备份1秒或长达30秒(可选) ,从而轻松充电或瞬间提供大电流。○重量轻、体积小、无噪音、安全 由于没有电池或风扇,因此重量轻、体积小、无噪音。ARROWS玉崎加热器断线报警装置
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ARROWS玉崎加热器断线报警装置
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通过吸附在晶圆背面进行检查,相机识别凹口/定向平面并对其进行最佳控制。
≪特点≫
1. 可以同时进行三个边缘成像、整个晶圆周边成像以及缺陷检查。
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