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ARROWS玉崎小王子单臂机器人电机马达

可以通过改变电压暂降发生后仅0.001秒检测并备份的设置,将电压暂 降备份1秒或长达30秒(可选) ,从而轻松充电或瞬间提供大电流。○重量轻、体积小、无噪音、安全 由于没有电池或风扇,因此重量轻、体积小、无噪音。
ARROWS玉崎小王子单臂机器人电机马达

  • 产品型号:NC-M0002-01
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-12-22
  • 访  问  量:181
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ARROWS玉崎小王子单臂机器人电机马达

ARROWS玉崎小王子单臂机器人电机马达


这是盒式到盒式自动晶圆边缘检查机。每张检查时间为 10 秒,节拍时间为 30 秒,实现了高吞吐量。机器人从25片晶圆存储盒中一张一张取出晶圆,进行自动对准、检查,然后将其存储在晶圆盒中。易于操作。
可以自动检查划痕、异物、缺口和裂纹等缺陷。
我们在每张 30 秒内(包括运输时间)进行高速检查。
这是一款增加了新功能、更容易使用的高精度检查机。
紧凑且省电的设计。交流100V8A
外形尺寸 w1200×d900×h1600mm 重量 160kg
只需放置好晶圆盒并按下操作按钮,机器人就会将晶圆一张一张取出并输送至检测站。图像对准后,晶圆的外边缘和三个顶面和底面同时被拍照并检查是否有划痕、异物、裂纹和缺口等缺陷,然后返回到晶圆盒中。

通过吸附在晶圆背面进行检查,相机识别凹口/定向平面并对其进行最佳控制。

≪特点≫

1. 可以同时进行三个边缘成像、整个晶圆周边成像以及缺陷检查。

2. 三光学系统允许使用一台线相机检查三个表面。
3. 集成照明为边缘检查创造了理想的照明。
4. 可以进行包括定向平面/缺口在内的外观检查。(仅检查凹口的斜面。)
5. 高性能,测量分辨率为10μm,检测缺陷尺寸为20μm,通过/失败判断缺陷为50μm。

≪功能≫
1. 自动对准机构:利用图像自动对准晶圆中心和检查中心。
2. 三面独立设置:可进行检验条件配方和照明设置。
3. 复检功能:可对判定为NG的晶圆进行目视复检。
4. 显示更改功能:通过放大和反转功能,现在可以更轻松地查看原始图像。
5. 大的污垢和标记可以与缺陷分开。检验点
同时拍摄晶片的边缘表面A、顶表面B和底表面C的图像。三光学系统允许从两侧检查斜面,从而可以跨边界检查缺陷。




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